پيشرفتهاي سريع اخير در فناوري نانو مربوط به توانايي هاي کسب شده براي اندازه گيري و کنترل ساختارهاي منفرد در مقياس نانو مي باشد. آشنايي با ابزارها و تجهيزات مورد استفاده در اين زمينه مي تواند در درک اين فناوري مفيد واقع شود. ميكروسكوپ الكتروني عبوري Transmission Electron Microscopy ميكروسكوپ الكتروني روبشي Scanning Electron Microscopy اسپكتروسكوپي الكترون اوژه Auger Electron Spectroscopy ميكروسكوپ الكتروني روبشي محيطي Environmental Scanning Electron Microscope طيف سنجي جرمي يون ثانويه Secondary Ion Mass Spectroscopy پراش اشعه –X X-Ray Diffraction کروماتوگرافي مايع با کارايي بالا High Performance Liquid Chromatography طيف سنجي جرمي Mass Spectroscopy طيف سنجي رامان Raman Spectroscopy کروماتوگرافي گازي Gas Chromatography طيف‌سنج زير قرمز IR Spectroscopy رزونانس مغناطيس هسته Nuclear Magneto Resonance ميکروسکوپ نيروي اتمي َAtomic Force Microscope باريکه يوني متمرکز Focused Ion Beam ميكروسكوپ روبشي تونلي Scanning Tunneling Microscopy طيف‌سنجي تبديل فوريه مادون قرمز Fourier Transform Inferred Spectroscopy طيف‌نگاري الکتروني براي آناليز شيميايي Electron Spectroscopy for Chemical Analysis پراكندگي بازگشتي رادرفورد Rutherford Backscattering Spectrometry ميکروسکوپي نوري ميدان نزديک روبشي